企業(yè)簡介常州瑞擇微電子科技有限公司（REC）成立于2008年，主要研發(fā)、生產(chǎn)、銷售光掩模工藝設(shè)備，是江蘇省高新技術(shù)企業(yè)。REC擁有完整的自動化設(shè)備研發(fā)和加工能力，設(shè)計團(tuán)隊包括液路工藝、機(jī)械、電氣、自動化和控制軟件等設(shè)計人員。公司加工車間配置有多臺普通和數(shù)字機(jī)械加工設(shè)備，基本滿足公司部件加工需求。此外，公司還搭建有10萬級潔凈廠房，配備了18兆歐純水系統(tǒng)，用于公司設(shè)備的組裝調(diào)試和潔凈部件的生產(chǎn)加工。2008年底，由REC自主研發(fā)的“130納米級光掩模清洗設(shè)備”，打破了國外該領(lǐng)域的壟斷，填補(bǔ)了國內(nèi)空白，各項(xiàng)檢測指標(biāo)均已達(dá)到或超過國際領(lǐng)先水平，該設(shè)備被評為“江蘇省首臺（套）重大裝備產(chǎn)品”。2013年10月，由REC承擔(dān)的國家科技重大專項(xiàng)（02專項(xiàng)）所研發(fā)生產(chǎn)的“90納米光掩模清洗設(shè)備”成功進(jìn)入終端客戶生產(chǎn)線。公司發(fā)展至今，已研發(fā)、生產(chǎn)、銷售多臺光掩模濕法工藝設(shè)備，分別應(yīng)用于中芯國際集成電路制造（上海）有限公司、無錫華潤微電子有限公司、中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)、深圳清溢光電股份有限公司等國內(nèi)重要集成電路制造企事業(yè)的生產(chǎn)線，并受到業(yè)內(nèi)一致好評。此外，REC還成功研發(fā)了CO2發(fā)泡機(jī)、全氟泵、在線紅外加熱器等部件，廣泛應(yīng)用于硅晶圓、LED、MEMS、光伏、平板顯示等行業(yè)。REC在自主研發(fā)的過程中，已獲得自主知識產(chǎn)權(quán)33項(xiàng)，先后承擔(dān)了部、省、市、區(qū)各級的科技研發(fā)項(xiàng)目，并與中國科學(xué)院微電子研究所、無錫華潤微電子掩模工廠、中芯國際、韓國海力士、以色列CI-SEMI、芬蘭Picosun等多家國內(nèi)外企事業(yè)單位合作，共同研究開發(fā)光掩模清洗新工藝設(shè)備以及微納加工工藝設(shè)備。REC希望通過與客戶的緊密合作及技術(shù)創(chuàng)新，根據(jù)客戶實(shí)際需求，結(jié)合自身優(yōu)勢，在相關(guān)領(lǐng)域取得更大的發(fā)展，大幅度提高設(shè)備的性價比，成為客戶發(fā)展的堅實(shí)后盾，為我國蓬勃發(fā)展的半導(dǎo)體事業(yè)爭光添彩。