中科儀(南通)半導(dǎo)體設(shè)備有限責(zé)任公司是中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司的全資子公司。坐落于南通高新區(qū)國(guó)家集成電路零部件產(chǎn)業(yè)園。
總部中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司坐落于遼寧省沈陽(yáng)市國(guó)家高新技術(shù)開發(fā)區(qū),創(chuàng)建于1958年,前身為中國(guó)科學(xué)院直屬科研事業(yè)單位。多年來,公司專注于高真空、超高真空、超潔凈真空技術(shù)的研究和發(fā)展,是我國(guó)集成電路裝備和真空儀器設(shè)備的研制、生產(chǎn)基地,先后組建“國(guó)家分子束外延技術(shù)試驗(yàn)基地”、“國(guó)家真空儀器裝置工程技術(shù)研究中心”和“真空技術(shù)裝備國(guó)家工程實(shí)驗(yàn)室”等科研平臺(tái)。公司主要從事干式真空泵、真空儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,并提供相關(guān)技術(shù)服務(wù)。公司產(chǎn)品主要包括系列羅茨干泵、系列渦旋干泵、大科學(xué)裝置、真空薄膜儀器設(shè)備和新材料制備設(shè)備等。公司承擔(dān)了國(guó)家“十四五規(guī)劃”、“863計(jì)劃”、 “02專項(xiàng)”、 “國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃”等國(guó)家科技專項(xiàng),并通過自主研發(fā)創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)干式真空泵在集成電路領(lǐng)域的批量應(yīng)用,打破了歐美及日本企業(yè)對(duì)同類產(chǎn)品的長(zhǎng)期壟斷,實(shí)現(xiàn)了關(guān)鍵裝備的進(jìn)口替代。公司長(zhǎng)期致力于高端科研儀器設(shè)備的研發(fā)制造,為我國(guó)重大科技基礎(chǔ)設(shè)施的建設(shè)發(fā)展做出貢獻(xiàn)。在真空鍍膜領(lǐng)域,公司研發(fā)形成了磁控濺射、離子束濺射、高溫真空無油潤(rùn)滑、高性能高穩(wěn)定性束源爐、復(fù)合鍍膜等多項(xiàng)技術(shù)。通過多年的研發(fā)創(chuàng)新,公司現(xiàn)已開發(fā)完成第六代分子束外延設(shè)備。
公司先后獲得國(guó)家科技進(jìn)步獎(jiǎng)6項(xiàng),中國(guó)科學(xué)院及省部級(jí)科技進(jìn)步獎(jiǎng)20項(xiàng),擁有專利71項(xiàng),被認(rèn)定為國(guó)家第二批專精特新“小巨人”企業(yè)、國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)、國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)優(yōu)勢(shì)企業(yè)、遼寧省技術(shù)創(chuàng)新示范企業(yè)、遼寧省創(chuàng)新型中小企業(yè)、遼寧省省級(jí)企業(yè)技術(shù)中心等。
中科儀(南通)半導(dǎo)體設(shè)備有限責(zé)任公司熱誠(chéng)歡迎廣大有理想、有抱負(fù)、有學(xué)識(shí)的優(yōu)秀人才加盟!